聚焦先進(jìn)制程，共筑檢測(cè)基石 —— “半導(dǎo)體電子特氣發(fā)展趨勢(shì)與檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新交流會(huì)”成功舉辦

隨后上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院有限公司總經(jīng)理助理、科技信息處處長(zhǎng)，全國(guó)氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員 ?陳鷹? 正高級(jí)工程師代表主辦方致辭。

珀金埃爾默半導(dǎo)體項(xiàng)目負(fù)責(zé)人 ?黃清發(fā)? 在《珀金埃爾默電子特氣檢測(cè)方案及國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程》報(bào)告中，系統(tǒng)介紹了從?原料檢驗(yàn)（IQC）、過程監(jiān)控（IPQC）到成品檢測(cè)（FQC）的全流程質(zhì)量控制解決方案?。該方案核心涵蓋了氣相色譜儀（GC）、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）、紫外分光光度計(jì)（UV）及電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）等先進(jìn)儀器，可精準(zhǔn)分析各類電子特氣中的痕量雜質(zhì)。

報(bào)告特別重點(diǎn)介紹了創(chuàng)新的氣體直接進(jìn)樣-ICPMS（GDI-ICPMS）技術(shù)?。珀金埃爾默外聘專家 ?Tommy Lee? 在《GDI-ICPMS氣體分析方案》報(bào)告中，通過詳實(shí)的數(shù)據(jù)對(duì)比和應(yīng)用案例（包括在韓國(guó)市場(chǎng)的成熟應(yīng)用），充分展示了該技術(shù)相比傳統(tǒng)鼓泡吸收法的顛覆性優(yōu)勢(shì)：?直接進(jìn)樣、無前處理污染、分析前處理時(shí)間僅需約5分鐘、接近100%的金屬雜質(zhì)回收率、以及低于0.1 ppt的超高靈敏度?。GDI-ICPMS技術(shù)為半導(dǎo)體制造中金屬雜質(zhì)的精準(zhǔn)、快速、安全監(jiān)控提供了強(qiáng)大的支持。

同時(shí)，孫猛博士也提醒行業(yè)需保持理性，關(guān)注部分品種可能出現(xiàn)的?產(chǎn)能規(guī)劃過剩?風(fēng)險(xiǎn)，未來應(yīng)加強(qiáng)?核心技術(shù)攻堅(jiān)、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同優(yōu)化和市場(chǎng)理性布局?。

在圓桌論壇環(huán)節(jié)，?孫猛博士、魏王慧高工?與特邀專家?湯劍波、宛志文?以及?Tommy Lee?同臺(tái)，圍繞 ?“國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體電子特氣的市場(chǎng)前景”、“國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的深化路徑”、“標(biāo)準(zhǔn)化體系建設(shè)”以及“韓國(guó)電子特氣市場(chǎng)及技術(shù)趨勢(shì)”? 等熱點(diǎn)議題展開了深入討論。現(xiàn)場(chǎng)交流熱烈，專家們的真知灼見為行業(yè)發(fā)展提供了多元視角和前瞻思考。

作為行業(yè)的重要參與者與本次會(huì)議的支持方，珀金埃爾默以實(shí)際行動(dòng)踐行對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的承諾。位于?蘇州太倉(cāng)的制造與供應(yīng)鏈中心?自2017年投產(chǎn)以來，已成功實(shí)現(xiàn)了包括原子吸收光譜儀（AAS）、氣相色譜儀（GC）、紫外可見分光光度計(jì)（UV）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）等多條核心產(chǎn)品線的本土化生產(chǎn)。通過持續(xù)構(gòu)建?穩(wěn)定可靠的本地化供應(yīng)鏈體系?，并在生產(chǎn)全過程恪守?ISO9001國(guó)際質(zhì)量體系?，珀金埃爾默確保了“中國(guó)制造”擁有“世界一流”的品質(zhì)，致力于以更快的響應(yīng)速度和更優(yōu)的服務(wù)，為中國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的?高質(zhì)量發(fā)展與供應(yīng)鏈自主可控?提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)保障。