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激光濺射沉積系統

儀器網>知識百科>激光濺射沉積系統 更新時間:2026-02-03 14:21:09

激光濺射沉積系統百科

導讀
激光濺射沉積系統利用高能脈沖激光束轟擊靶材,使其形成等離子體并在基底上沉積形成薄膜,廣泛應用于半導體、材料科學等領域。
目錄
1原理知識 2結構參數 3行業標準 4功能作用 5教程說明 6維修保養 7操作使用 8注意事項

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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻; 3. 工藝參數任意調節,對靶材的種類沒有限制; 4. 發展潛力巨大,具有極大的兼容性; 5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。

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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻; 3. 工藝參數任意調節,對靶材的種類沒有限制; 4. 發展潛力巨大,具有極大的兼容性; 5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。

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1. 易獲得期望化學計量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性; 2. 沉積速率高,試驗周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻; 3. 工藝參數任意調節,對靶材的種類沒有限制; 4. 發展潛力巨大,具有極大的兼容性; 5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。

脈沖激光沉積系統

脈沖激光沉積系統

PLD是將脈沖激光透過合成石英窗導入真空腔內照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態,然后被堆積到設在對面的基板上而成膜。

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