電子級超純水系統

電子級超純水系統概述

電子級超純水系統是指電子行業中使用的從原水至超純水完整產生的純化水生產系統，應用蒸餾、反滲透技術、去離子化或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒等有機物其產出的水是一般工藝很難達到的程度。

電子級超純水系統能夠滿足半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需要的大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。

電子級超純水系統特點

電子工業超純水系統通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。水箱設有液位控制系統、水泵設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC，及通信遠程輸送至中控室上位機，實現現場就地和集中控制兩種操作方式，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法，使該設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

電子級超純水系統應用領域

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；

2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水；

4、汽車、家電表面拋光處理；

5、光電子產品；

6、其他高科技精微產品。

電子行業專用超純水系統工藝流程

1、預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點。

2、預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點。

3、預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點。

4、預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點。

5、水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)。

6、超純水系統反滲透(膜分離)法超純水制造技術

電子行業用超純水系統的工藝流程

反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。