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KLA 白光干涉儀Profilm 3D
※ 從納米級到毫米級的3D臺階高度 ※ 3D粗糙度、波紋度、翹曲度和形狀,紋理表征 ※ 3D缺陷表面形貌、缺陷表征 ※ 大型透明薄膜的表面進行高分辨率掃描 ※ 高粗糙度,低反射率,劃痕表征
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