臺階儀是什么原理

臺階儀作為一種接觸式的表面形貌測量儀器,其在很多領域都有著較為廣泛的應用。在使用設備的過程中也會有很多注意事項，今天上海爾迪儀器科技有限公司就帶大家看看需要注意的地方：

1.取放臺階儀樣品時都要貼著樣品臺。

2.保證被測樣品表面干凈沒有灰塵顆粒以防弄臟針尖。

3.樣品臺階不超過要求，不可太粗糟，平面度要在儀器量程內。

4.在測試和啟動軟件的時候，請確認臺階儀上的門是關著的。

5.在進行測試的時候請勿觸摸防震桌或者奔跑等，避免引起較大噪聲和震動的活動以免影響測試結果甚至損壞探針。

6.測完數據后及時拷走以防系統崩潰而丟失數據。測完后請關閉總電源

bruker是分子和材料研究以及工業和應用分析科學儀器的制造商。致力于研發高水平、高精度分析儀器。一直堅持為每項分析工作提供高精的技術解決方案。 

Bruker Dektak-XT 臺階儀是五十多年專有技術進步的TOP。它們提供可重復、可靠和準確的測量:從傳統的臺階高度測量和二維粗糙度的表面表征到高級三維形貌和薄膜應力分析。bruker臺階儀已被廣泛接受為薄膜厚度、應力、表面粗糙度和形貌測量的金標準，應用到從學術研究到半導體過程控制等不同領域。

Bruker?Dektak?臺階儀在上海爾迪儀器科技有限公司有售，不知道怎么選型？不知道產品適配什么樣的機器？上海爾迪儀器科技有限公司具有免費的售前咨詢及方案制定，更多詳細資料、產品咨詢，可聯系我司。

今天主要講下，關于表面形貌的測量：

通常可分接觸式與非接觸式兩種，在各個應用領域中，這兩個方法具有互補性，并且各有不同，因此在實際應用以及選擇機器的時候，一定要根據具體情況而定，建議先咨詢相關的技術工程師。

本期主要說下接觸式表面形貌測量儀器：臺階儀

臺階儀根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

基本工作原理如下：

當臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現出來。

以優尼康主推的KLA臺階儀D-Series & P-series為例，簡單看下：

觸針傳感器技術：高度分辨率低于0.1納米

光學杠桿傳感器: D-Series

電容傳感器 (LVDC): P-Series

所有KLA系列臺階儀探針均由金剛石制成，具有出色的可靠性

應用：

醫用支架臺階高度；藥庫深度
ITO薄膜臺階高度；20到200 nm臺階

太陽能電池

蝕刻工藝

LED氮化鎵外延缺陷檢測

太陽能板形貌

硅片減薄形貌

圓角測試

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

產品特點：

·操作簡易，從研發到質量控制都有更好的過程控制。

·能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發光二極管（LED）、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。

·測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重復性好

·可以作為其它形貌測量技術的比對

主要應用范圍：

·大學、研究實驗室和研究所
·半導體和化合物半導體
·LED：發光二極管

·太陽能
·MEMS：微機電系統
·數據存儲
·汽車
·醫療設備

布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創新性的設計，可以提供無與倫比的重現性，重現性低于4A。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年 Dektak 技術創新的頂峰，更加鞏固了其行業領先地位。通過整合其行業領先產品，DektakXT實現了最高性能。

更多詳細資料，可聯系上海爾迪儀器科技有限公司，撥打電話021-62211270！021-62211270！

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

產品特點：

·操作簡易，從研發到質量控制都有更好的過程控制。

·能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發光二極管（LED）、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。

·測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重復性好

·可以作為其它形貌測量技術的比對

主要應用范圍：

·大學、研究實驗室和研究所
·半導體和化合物半導體
·LED：發光二極管

·太陽能
·MEMS：微機電系統
·數據存儲
·汽車
·醫療設備

布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創新性的設計，可以提供無與倫比的重現性，重現性低于4A。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年 Dektak 技術創新的頂峰，更加鞏固了其行業領先地位。通過整合其行業領先產品，DektakXT實現了高性能。

臺階儀相關知識科普

優尼康微課堂：什么是臺階儀？

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器，也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重復性好,被廣泛應用在各行各業。

測量原理：

當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

臺階儀性能優劣取決于以下三個方面：

測試重復性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實驗數據的質量和實驗操作的效率。

在這以我們優尼康提供的一款KLA臺階儀為例，簡單介紹下，

型號：P-17

支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。

P-17是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統lingxian業界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統結合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。

P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。