離子濺射儀基本組成和作用

離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng)，對于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復(fù)原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應(yīng)氣體。

離子濺射儀基本組成和作用:

1、手動開關(guān)：將該開關(guān)按下，對濺射電流強(qiáng)弱進(jìn)行測試，在定時(shí)器工作期間起不到作用。

2、啟動開關(guān)：對該開關(guān)進(jìn)行按觸，對定時(shí)器及加載濺射電壓進(jìn)行啟動。若在濺射期間，發(fā)生過流保護(hù)，在濺射電壓再次加載時(shí)，需要對該開關(guān)再次按觸。

3、微調(diào)進(jìn)氣閥門：對按鈕進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，對樣品真空室中的真空度進(jìn)行控制，對濺射電流進(jìn)行調(diào)整，能夠?qū)⒍喾N氣體通入。

4、限流指示燈：該燈亮起，提示當(dāng)前如果加載濺射電壓則過載。

5、電流指示表：對當(dāng)前電離電流值進(jìn)行顯示。

6、對當(dāng)前設(shè)備的真空度進(jìn)行顯示。

7、上蓋:密閉樣品真空室

8、上部電極:安裝鍍膜材料的裝置(負(fù)極)

9、樣品臺:固定被鍍樣品的裝置(陽極)

10、定時(shí)選擇開關(guān)：對該開關(guān)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，對鍍膜時(shí)間進(jìn)行設(shè)置。值得注意的是定時(shí)器分別有停止、暫停和運(yùn)行三種狀態(tài)。

11、電源開關(guān)：對該開關(guān)進(jìn)行搬動，對設(shè)備工作狀態(tài)進(jìn)行確定。