等離子清洗機操作規程

隨著科學技術的進步，經濟的飛速發展，等離子清洗機得到了廣泛的應用，為了更好的使用等離子清洗機，了解它的操作規程很重要，下面就讓小編介紹一下吧。等離子清洗機的操作規程如下：

一、設置

1.連接真空泵電源到插座。

2.連接等離子清洗機電源到插座。

二、排除空氣

3.將樣品放入艙室內。

4.檢查針閥和三通閥是關閉的。（處于垂直位置，如下圖）

5.按住清洗艙艙門。

6.打開真空泵開關。大概幾分鐘后，艙室處于負壓狀態，真空狀態會讓艙門自

動關閉。

7.打開氣體鋼瓶上的閥門，將壓力調節在5~10PSI。

三、通入氣體

8.打開通向工藝氣體的三通閥（針閥為水平位置，如下圖）

9.輕輕地打開針閥讓氣體通入30-60秒。

四、產生等離子體

10.打開清洗機前面板的電源開關。

11.將射頻發生器功率開關調至合適的功率。

12.通過艙門的玻璃窗觀察艙內，當產生輝光放電現象時，證明等離子體已激發。

13.調節針閥直到等離子體明顯Zda，這大概相當于Z佳等離子生成的條件

14.樣品處理一定時間，處理結束后，將RF電源旋至OFF。

15.關閉清洗機開關。

16.關閉氣體鋼瓶閥門。

17.用1-3分鐘的真空泵抽出殘余的工藝氣體從艙室。

18.關閉針形閥。

19.關閉真空泵。

20.按住等離子清洗機艙門門并慢慢將三通閥打開至排氣狀態（水平指向排氣，

如下圖）。

21.當艙室排氣時，繼續按住艙門。當達到常壓后，離開艙門。22.關閉三通閥。

23.取出樣品