小型等離子清洗機
PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。PCE-6小型等離子清洗機體積小，占用的空間少，可有效節(jié)約實驗室空間。PCE-6小型等離子清洗機配有一個雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。
1、通過控制面板的按鍵及開關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
3、設(shè)有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。
| 產(chǎn)品名稱 | PCE-6小型等離子清洗機 | |
| 產(chǎn)品型號 | PCE-6 | |
| 主要參數(shù) | 1、電源：AC220V 50/60Hz 2、輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W 3、真空泵功率：<500W 4、總功率：<600W 5、射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調(diào)節(jié) 6、等離子腔體：高純石英腔體?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封，法蘭上設(shè)有?45mm的觀察窗 7、真空泵：120L/min，直連式雙旋真空泵 8、極限真空度：50mtorr 9、通入氣體：可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定） 清洗及蝕刻 | |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：400mm×300mm×300mm 重量：10.2kg | |
| 可選配件 | 1、2"-6"石英舟（盛放基片） 2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) | |
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美國 Harrick PDC-32G-2 基本型等離子清洗機，該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。
美國 Harrick PDC-002 擴展型等離子清洗機，該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。
德國 PVA TePla 等離子清洗機PlasmaPen 常壓等離子，通過清潔和活化材料表面來改善灌封化合物、粘合劑、油墨、涂料和染料等的浸潤性。PlasmaPen?清潔后的表面保證了半導(dǎo)體封裝工藝中打線和芯片鍵合的可靠性。它已經(jīng)成功地應(yīng)用于平板顯示制造業(yè)中提高異方性導(dǎo)電膠膜（ACF）的粘合性。
等離子去膠工藝擁有低污染顆粒，低成本大規(guī)模量產(chǎn)，高均勻性與高可復(fù)制性等工藝特征。
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