大氣壓等離子清洗機工作氣體放電原理分析

大氣壓等離子清洗機按所加電場的頻率不同，可以將大氣壓等離子清洗機的工作時氣體放電分為直流放電、低頻放電、高頻放電、微波放電等多種類型。不同的大氣壓等離子清洗機工作氣體放電原理有不同的作用及應用場所，下面是小編帶來的大氣壓等離子清洗機工作氣體放電原理分析。

大氣壓等離子清洗機通常把在電場作用下氣體被擊穿而導電的物理現象稱之為氣體放電。如此產生的電離氣體叫做氣體放電等離子體。大氣壓等離子清洗機按所加電場的頻率不同，氣體放電可以分為直流放電、低頻放電、高頻放電、微波放電等多種類型。直流（DC）放電因其簡單易行，特別是對于工業大氣壓等離子清洗機裝置來說可以施加很大的功率至今仍被采用。低頻放電的范圍一般是1～100kHz，現在裝置Z常用的頻率為40kHz。

目前，在實驗裝置和工藝設備中用得Z多的大氣壓等離子清洗機莫過于高頻放電裝置，其頻率范圍為10～100MHz。由于這屬于無線電波頻譜范圍，故又稱為射頻放電（Radiofrequencydischarge），簡稱RF放電，Z常用的頻率為13.56MHz。當所用大氣壓等離子清洗機的電場的頻率超過1GHz時，屬于微波放電（Microwavedischarge），簡稱為MW放電。常用的微波放電頻率為2450MHz。