掃描電鏡分類

　　掃描電鏡全稱掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來，迅速發展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用于化學、生物、醫學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業部門。

掃描電鏡的種類

　　目前市場上提供的商品掃描電鏡有：場發射掃描電鏡(FEG-SEM)、常規掃描電鏡(CSEM)以及生物用掃描電鏡。

納克微束高分辨場發射掃描電鏡 FE-1050系列

　　場發射掃描電鏡：

　　場發射掃描電鏡屬于高分辨型電鏡，使用場發射槍，如同也一個2000W特種電源，亮度高，可以照明樣品各個部位的細節，電子束斑直徑不小于1nm。能把樣品1nm尺度的細節成像，可以真正實現低加速電壓下工作。

　　由于場發射電子槍具有亮度高、能量分散少，陰極源尺寸小等優點，場發射掃描電鏡的分辨率已達到3nm。場發射掃描電鏡的另一個優點是可以在低加速電壓下進行高分辨率觀察，因此可以直接觀察絕緣體而不發生充、放電現象。

　　提供的高分辨率圖像可以與同樣放大倍率下的透射電鏡圖像進行對比。現代場發射掃描電鏡克服了早期電子源不穩定和使用麻煩的缺點，場發射電子槍參數一經設定后，全部由計算機控制，使用是只需要選定加速電壓就可以操作，幾十調10萬倍圖案，也是輕而易舉的事情。為此電鏡廠家在電子槍的選用、透鏡像差校正、信號探測和高真空系統等方面進行了精心設計和制造，追求分辨率的提高，由此可見，分辨率值使反應電鏡綜合性能的唯yi指標。場發射掃描電鏡目前已經大量應用于半導體、電腦、材料等領域。

　　常規掃描電鏡：

　　常規掃描電鏡使用熱電子槍，與場外發射槍相比，相當10W白熾燈，亮度有限，束斑直徑較大。目前，常規掃描電鏡采用熱發射電子槍，分辨率為6nm左右，若采用六硼化鑭電子槍，分辨率可提高到4～5nm。

　　常規掃描電鏡和場發射掃描電鏡分辨相差不大，但想要獲得一張3NM分辨率的圖像，不是任何一個人是可以實現的，這已經是目前的極限值。至于放大倍率可達到300kx，則沒有任何實際意義，因為束斑直徑明顯大于該倍率下的像元值，分辨率受到束斑直徑的限制，但是對于大量的常規檢測，常規掃描電鏡因其價格便宜，適用性強，維護費用低而不可或缺。

　　生物用掃描電鏡：

　　生物用掃描電鏡備有冰凍冷熱樣品臺，可把含水生物樣品迅速冷凍并對冰凍樣品進行觀察，可以減少化學處理引起的人為變化，使觀察樣品更接近于自然狀態。如要觀察內部結構，還可用冷刀把樣品進行切開，加溫使冰升華，并在其上噴鍍一層金屬再進行觀察，所有這些過程都在掃描電鏡中不破壞真空的狀態下進行。

掃描電鏡分類方法

　　按照電子槍種類分：鎢絲槍、六硼化鑭、場發射電子槍(冷場發射、熱場發射);

　　按照樣品室的真空度分：高真空模式、低真空模式、環境模式(冷熱高壓低壓等等);

　　按照真空泵分：油擴散泵、分子泵;

　　按照自動化程度分：自動、手動;

　　按照操作方式分：旋鈕操作、鼠標操作;

　　按照電器控制系統分：模擬控制、數字控制;

　　按照圖像顯示系統分：模擬顯像、數字顯像。