奧地利EVG產(chǎn)品
奧地利EVG產(chǎn)品資料
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EVG101- EVG101簡介[詳細(xì)]
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2019-09-17 15:00
產(chǎn)品樣冊|
- 關(guān)于
奧地利EVG
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- 奧地利EV Group致力于在光刻技術(shù)，EVG的卓越表現(xiàn)體現(xiàn)在其掩模同步器(EVG600,EVG6000,EVG IQ系列)和高度集成的涂層平臺(tái)(EVG100系列)的高通量接觸和近距離曝光能力。所有EVG的光刻設(shè)備平臺(tái)可以完全集成到它的HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中，并通過其計(jì)量工具進(jìn)行全面的底端比對(duì)驗(yàn)證。
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