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• JJF17392019數字式激光球面干涉儀校準規范

  面形偏差surface form deviation,被測光學表面相對于參考光學表面的偏差。 峰谷值peak-to-valley (PV) value,面形偏差MAX值減去Z小值，簡稱PV值。 PVr 值robust peak-to-valley (PVr) value,面形偏差的36項Zernike多項式擬合面PV值加上3倍擬合殘差(面形偏差減去36項. 3.4球面元件F 數F number of spherical optics,球面曲率半徑與通光口徑的比值。注:被測球面元件F數應當小于或等于干涉儀球面鏡頭F數，才能實現球面干涉儀全表面測量[詳細]

  2024-09-11 17:59

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