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YES(Yield Engineering Systems,Inc.)致力于打造工藝生產過程中所需要的各種控制設備。該公司的產品線包括真空固化爐、化學氣相沉積(CVD)系統和等離子蝕刻工具,這些工具可用于半導體晶片、半導體和MEMS器件、生物傳感器和醫療基材的精確表面改性和薄膜涂層。
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