電磁測厚儀/電渦流測厚儀

KLA R54 四探針電阻率測量儀是KLA的電阻率測量產品。從半導體制造到實現可穿戴技術所需的柔性電子產品，薄膜電阻監控對于任何使用導電薄膜的行業都相當重要。KLA R54 四探針電阻率測量儀在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進行了優化。

該儀器傳感器陣列由16(12)個獨立傳感器組成，每個傳感器都可以測得一條套管壁厚曲線，即可測量內層管厚度及損傷情況，還可測量外層套管的厚度。

美國Extech CG204型電磁/電渦流測厚儀，雙技術提供自動識別鐵基和非鐵基。