白光干涉測(cè)厚儀

Filmetrics F54 微區(qū)自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)能以一個(gè)電動(dòng)R-Theta平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米，可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無(wú)數(shù)量限制之測(cè)量點(diǎn).只需具備基本電腦技能，就可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方。

Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 依靠光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以簡(jiǎn)單且快速地獲得直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非常快速，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶(hù)可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。Filmetrics F50 全自動(dòng)Mapping薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng) 配置精度高使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，以求能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。

Filmetrics F60-t 自動(dòng)膜厚儀就像我們的F50自動(dòng)膜厚儀產(chǎn)品一樣。主要測(cè)繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及可以升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

Filmetrics F32 四通道在線式膜厚儀特殊的光譜分析系統(tǒng)采用半寬的3u rack- mount底盤(pán)，加上附加的分光計(jì)，可達(dá)到四個(gè)不同的位置(EXR和UVX版本至多兩個(gè)位置)。F32膜厚儀軟件可以通過(guò)數(shù)字I/O或主機(jī)軟件來(lái)控制啟動(dòng)/停止/復(fù)位測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)可以自動(dòng)導(dǎo)出到主機(jī)軟件中進(jìn)行統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制。還提供可選的透鏡組件，以便于集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)裝置上。

無(wú)論您是想要知道薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)，還是想要知道材料的反射率和透過(guò)率，F(xiàn)ilmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀都能滿(mǎn)足您的需要。僅需花費(fèi)幾分鐘完成安裝，通過(guò)USB連接電腦，設(shè)備就可以在數(shù)秒內(nèi)得到測(cè)量結(jié)果?；谀K化設(shè)計(jì)的特點(diǎn)，F(xiàn)ilmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚儀適用于各種應(yīng)用。

Filmetrics F54-XY-200 全自動(dòng)Mapping膜厚分布測(cè)量系統(tǒng)，可以測(cè)量尺寸達(dá)200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供厚度測(cè)量，達(dá)到每秒兩點(diǎn)。您可以從數(shù)十種預(yù)定義的極性，矩形或線性測(cè)量坐標(biāo)圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設(shè)置，任何具有基本計(jì)算機(jī)技能的人都可以使用。