關(guān)于勻膠膜厚控制問題

關(guān)于膜厚控制的問題，正如我前面提到的膜厚主要取決于三方面：

1、膠液的情況（粘度、滴膠速度、膠液在操作溫度下的凝固情況）

2、基底材料的特性（表面平滑度，潔凈程度）

3、設(shè)備方面（旋涂速度，加減速度和旋涂時(shí)長(zhǎng)等因素）

為了得到適合自己的材料的涂覆制備過程，實(shí)驗(yàn)人員一般需要經(jīng)過一段時(shí)間的累

積，我們的設(shè)備可以將試驗(yàn)好的涂覆程序段（涂覆步驟和轉(zhuǎn)速時(shí)長(zhǎng)）存儲(chǔ)下來，下次

使用時(shí)，可以直接從系統(tǒng)里調(diào)用程序段，它既可按照原先設(shè)定好的步驟完成制備過

程。

下面除去上面影響膜厚的因素以外，我們也嘗試制作一個(gè)旋涂速度和膜厚之間關(guān)系的

曲線，供您以后在使用過程中參考：

1、 選擇一個(gè)程序段予以設(shè)定并逐步存儲(chǔ)下來，并確定好動(dòng)態(tài)/靜態(tài)滴膠的方式；

2、 嘗試設(shè)定一個(gè)Zdi的啟動(dòng)滴膠轉(zhuǎn)速，比如光刻膠，初始轉(zhuǎn)速一般設(shè)定在1000RPM；

3、 用這個(gè)Zdi的轉(zhuǎn)速涂膜，并測(cè)試膜的厚度（有時(shí)候需要考慮增加烤膠等其他工藝

以便能夠準(zhǔn)確測(cè)試膜的厚度）；

4、 接下來將啟動(dòng)轉(zhuǎn)速調(diào)高，比如2000RPM，再重新測(cè)試一遍膜厚；

5、 繼續(xù)嘗試更高的轉(zhuǎn)速，諸如3000，4000，5000,6000RPM；

6、 然后把這些厚度和速度之間的關(guān)系做成一個(gè)曲線圖；如附件所示速度和膜厚的關(guān)

系曲線圖。