- 2025-12-25 17:40:35液冷制冷機(jī)
- 應(yīng)用于晶圓測(cè)試的高低溫冷熱臺(tái)(晶圓測(cè)試載物臺(tái))chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機(jī)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿(mǎn)足工藝條件。
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制冷機(jī)問(wèn)答
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