三友透射電鏡臭氧清洗設(shè)備ZONETEM II特點(diǎn)

三友透射電鏡臭氧清洗設(shè)備ZONETEM II：潔凈，性能躍升

在透射電子顯微鏡（TEM）分析領(lǐng)域，樣品表面的潔凈度直接關(guān)乎觀測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和分辨率。微量的有機(jī)污染物或吸附的塵埃，都可能在能量輸入下分解，產(chǎn)生碳膜，嚴(yán)重干擾高分辨成像。三友（JEOL）公司推出的ZONETEM II臭氧清洗設(shè)備，正是為解決這一痛點(diǎn)而生，它憑借其獨(dú)特的設(shè)計(jì)和先進(jìn)的技術(shù)，為TEM用戶提供了高效、的樣品前處理解決方案。

ZONETEM II的核心優(yōu)勢(shì)與技術(shù)亮點(diǎn)

ZONETEM II并非簡(jiǎn)單的“臭氧發(fā)生器”，而是一套專為TEM樣品設(shè)計(jì)的精密清洗系統(tǒng)。其核心優(yōu)勢(shì)在于能夠有效地去除樣品表面和載體薄膜上的有機(jī)污染物，從而顯著降低背景信號(hào)，提高信噪比。

1. 高效的臭氧產(chǎn)生與精確控制

• 優(yōu)化的臭氧發(fā)生模塊： ZONETEM II采用了三友自主研發(fā)的臭氧發(fā)生器，能夠穩(wěn)定產(chǎn)生高濃度的臭氧。相對(duì)于傳統(tǒng)的輝光放電或紫外激發(fā)方式，其設(shè)計(jì)更緊湊，能耗更低，且臭氧輸出更穩(wěn)定。
• 濃度可調(diào)范圍： 設(shè)備提供廣泛的臭氧濃度調(diào)節(jié)范圍，通常在 50 ppm - 1000 ppm 之間，具體取決于型號(hào)和配置。這種可調(diào)性允許用戶根據(jù)不同樣品和污染程度，選擇最優(yōu)的清洗參數(shù)，避免過度清洗對(duì)樣品造成損傷。
• 流量與時(shí)間精確控制： 氣體流量（通常為 0.5 L/min - 5 L/min）和清洗時(shí)間（從幾秒到幾十分鐘）均可精確設(shè)定，確保每次清洗過程的可重復(fù)性。

2. 優(yōu)化的反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)

• 低損耗氣體管路： ZONETEM II的內(nèi)部氣體傳輸管路均采用惰性材料，如PTFE或不銹鋼，并進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，最大程度減少臭氧在傳輸過程中的損耗，確保高濃度的臭氧能夠高效到達(dá)樣品表面。
• 樣品架設(shè)計(jì)： 設(shè)備配備了適用于TEM樣品網(wǎng)格的專用樣品架，確保樣品在清洗過程中能夠均勻暴露在臭氧氣流中。部分型號(hào)還支持多樣品同時(shí)清洗，提升了工作效率。
• 集成式排氣系統(tǒng)： 清洗過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物（如過量的臭氧和分解產(chǎn)物）會(huì)通過集成式的排氣系統(tǒng)被安全排出，并經(jīng)過臭氧分解裝置處理，符合環(huán)保要求。

3. 智能化的操作與數(shù)據(jù)管理

• 用戶友好的觸摸屏界面： ZONETEM II通常配備直觀的觸摸屏用戶界面，操作人員可以輕松設(shè)定清洗參數(shù)，監(jiān)控清洗過程，并保存常用的工藝配方。
• 過程記錄與追溯： 設(shè)備支持記錄每次清洗的操作參數(shù)和時(shí)間，有助于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的追溯和質(zhì)量控制。部分高端型號(hào)還可能集成數(shù)據(jù)管理軟件，方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和報(bào)告生成。
• 安全性設(shè)計(jì)： 臭氧具有一定的腐蝕性和氧化性，ZONETEM II在設(shè)計(jì)上充分考慮了安全性，包括漏氣檢測(cè)、自動(dòng)關(guān)機(jī)等功能，確保操作人員和設(shè)備的安全。

ZONETEM II的應(yīng)用價(jià)值

ZONETEM II的應(yīng)用價(jià)值體現(xiàn)在其能夠顯著提升TEM分析的質(zhì)量和效率：

• 提升高分辨成像質(zhì)量： 有效去除有機(jī)污染物，大幅減少背景噪音，使原子級(jí)分辨成像更加清晰。
• 降低樣品制備難度： 對(duì)于某些難以制備的易污染樣品，臭氧清洗可以作為一種溫和有效的輔助手段。
• 延長(zhǎng)TEM使用壽命： 減少樣品污染帶來的對(duì)真空系統(tǒng)的負(fù)面影響。
• 縮短分析時(shí)間： 避免因樣品污染導(dǎo)致的重復(fù)制備和分析，提高整體研究效率。

實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景舉例

• 材料科學(xué)： 對(duì)納米材料、二維材料（如石墨烯、TMDs）進(jìn)行表面清洗，研究其本征性質(zhì)。
• 半導(dǎo)體行業(yè)： 清洗半導(dǎo)體器件的微納結(jié)構(gòu)，用于失效分析或工藝優(yōu)化。
• 生物學(xué)領(lǐng)域： 在進(jìn)行細(xì)胞或組織切片的高分辨成像前，對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理，減少自溶或環(huán)境污染。

總而言之，三友ZONETEM II臭氧清洗設(shè)備通過其精密的工藝控制、優(yōu)化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及智能化的操作體驗(yàn)，為TEM用戶提供了一個(gè)可靠且高效的樣品凈化解決方案。它不僅是提升TEM分析水平的重要工具，也是保障科研和工業(yè)檢測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的關(guān)鍵一環(huán)。