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維爾戈干涉儀儀器擋板的粗糙度表征
圖1. 先進維爾戈探測器的圖片。由EGO Virgo提供。
圖 2. Advanced Virgo 儀表擋板的安裝圖片。圖片來源：IFAE。
圖3. 進行表征的樣本。
平板擋板
試驗樣品
圖4. 樣本的地形圖像和輪廓（右側）。在應用ISO 4287標準（截止值為80微米）后的粗糙度數值（左側）。
圖5. 對三個分析數據集計算得出的參數的區分度評估。綠色表示良好的區分度，黃色表示中等，紅色表示低
西班牙Sensofar品牌簡介
Sensofar是西班牙的一家高新技術公司，成立于2001年，總部位于西班牙科技中心巴塞羅那附近的塔拉薩(Terrassa)。公司通過戰略合作伙伴構成全球網絡，在超過20 個國家設有代表處，始終遵循先進的技術、卓越的質量和優質客戶服務的宗旨。
Sensofar公司專注于研發非接觸式3D光學表面測量技術，致力于開發、制造和供應高端3D測量工具，并提供3D測量技術領域內的咨詢服務。Sensofar持續不斷地研發和申請表面測量專利技術，在全球范圍內創造了數百種表面形貌測量應用產品。在高精度3D光學測量技術方面，擁有深厚的技術實力。
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我司是西班牙Sensofar、德國徠卡、日本奧林巴斯、美國Zygo、丹麥司特爾、德國蔡司、捷克泰斯肯（TESCAN）、美國RMC、英國Linkam等著名儀器公司特許代理商。致力于為材料用戶提供全面且專業的顯微形貌分析產品和技術服務！
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