在上世紀60年代初期,石英晶體微天平開始發展,其為一種靈敏度十分高的質量檢測儀器,其測量精度能夠達到納克級,高于靈敏度在微克級的電子微天平1000 倍。從理論上來說,能夠測到的質量變化和單分子層或原子層的幾分之一相當。石英晶體微天平通過石英晶體的壓電效應,使石英晶體電極表面質量變化向著石英晶體振蕩電路輸出電信號的頻率變化轉化,從而利用計算機等其他輔助設備使得高精度的數據獲得。

主要構造
數據處理、信號檢測、信號收集以及石英晶體傳感器為石英晶體微天平的主要組成部分。石英晶體微天平的zui為核心的構件是石英晶體傳感器。石英晶體傳感器的基本構造為:由一塊石英晶體上沿著與石英晶體主光軸成35°15'切割(AT-CUT)使得石英晶體振蕩片獲得。將金層涂敷在它的兩個對應面上作為電極,在兩片電極中間夾石英晶體使得三明治結構形成。按照需要,還能夠有選擇地在金屬電極上鍍膜來使得其應用得到進一步的拓寬。例如,將一層具有選擇性的吸附膜加在電極表面,能夠用于對化學反應的進行情況進行監測或者對氣體的化學成分進行探測。不同金屬及金屬氧/氮化物鍍膜,以及合金鍍層能夠用來研究金屬腐蝕性能和人工關節的排異反應。用來進行進行氣體、液體的成分分析以及微質量的測量、薄膜厚度及粘彈性結構檢測等。
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