掃描電鏡特點

　　掃描電鏡全稱掃描電子顯微鏡(SEM)，是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

掃描電鏡的特點

　　掃描電鏡是1965年發明的較現代的細胞生物學究工具，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。二次電子能夠產生樣品表面放形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐成像的方法獲得放大像。

　　掃描電鏡的優點：

　　1、能夠直接觀察樣品表面的結構，樣品的尺寸120mm×80mm×50mm。

　　2、樣品制備過程簡單，不用切成薄片。

　　3、樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉，因此，可以從各種角度對樣品進行觀察。

　　4、景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。

　　5、圖像的放大范圍廣，分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。

　　6、電子束對樣品的損傷與污染程度較小。

　　7、在觀察形貌的同時，還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析。

　　掃描電鏡的缺點：

　　1、異常反差。由于荷電效應，二次電子發射受到不規則影響，造成圖像一部分異常亮，另一部分變暗。

　　2、圖像畸形。由于靜電場作用使電子束被不規則地偏轉，結果造成像畸變或出現階段差。

　　3、圖像漂移。由于靜電場作用使電子束不規則偏移引起圖像的漂移。

　　4、亮點與亮線。帶電樣品常常發生不規則放電，結果圖像中出現不規則的亮點和亮線。

透射電鏡的特點

　　透射電子顯微鏡，簡稱透射電鏡，是把經加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射電子顯微鏡的分辨0.1～0.2nm，放大倍數為幾萬～百萬倍，用于觀察超微結構，即小于0.2微米、光學顯微鏡下無法看清的結構，又稱“亞顯微結構”。

　　透射電鏡的優點：

　　光學顯微鏡和透射電子顯微鏡都使用用薄片的樣品，而透射電子顯微鏡的優點是，它比光學顯微鏡更大程度的放大標本。放大10000倍或以上是可能的，這使科學家可以看到非常小的結構。對于生物學家，如線粒體和細胞器，細胞，內部運作都清晰可見。透射電鏡標本的晶體結構提供了出色的分辨率，甚至可以顯示樣本內的原子排列。

　　透射電鏡的缺點：

　　透射電子顯微鏡需要在一個真空室制備標本。由于這一要求，在顯微鏡可以用來觀察活標本時，如原生動物一些微妙的樣品也可能被電子束損壞，必須先用化學染色或涂層來保護他們。這種ZL有時會破壞試樣。

電子顯微鏡的使用條件

　　在以存儲器器件為代表的集成電路芯片的電子顯微分，掃描電鏡由于使用方便，往往是微觀分析的shou選。另外不需要得到體內信號，結構信號，制樣方便，制樣周期短，需要非破性的分析，樣品表面結構保存好，沒有變形和污染，樣品干燥并且有良好導電性能使用掃描電鏡比較合適。

　　對于目標更小的分析需求以及要求高精度的場合，則必須進行透射電鏡分析，那些需要得到樣品內部結構的也需要選用透射電鏡。以前透射電鏡只是作為一種重要的科研儀器，然而當今的半導體制造由于采用了各種先進技術，器具逐漸縮小，透射電鏡得到了更多的應用。

　　在要求精度不是很高，制樣方便，有良好的形貌，不需要得到體內信號，結構信號場合。將掃描電鏡和透射電鏡有機的結合起來，相互補充，將能得到更加精確的分析結果。