我國首款MEMS磁通門傳感器工程化產品落地，助力高端儀器自主可控

中國電子科技集團公司第九研究所（下稱“中國電科九所”，又名西南應用磁學研究所SIAM）正式官宣一項重大技術突破：該所成功研制出我國首 款MEMS磁通門傳感器工程化產品。這一成果不僅成功填補國內MEMS磁通門傳感器工程化領域的空白，更打破了國外企業在高端弱磁場傳感器領域的長期壟斷格局，為我國高端儀器設備自主可控發展注入新活力，成為我國高性能弱磁場傳感領域極具標志性的里程碑。

此次中國電科九所研制的MEMS磁通門傳感器，并非實驗室中的原型樣機，而是真正具備落地能力、可實現規模化量產的工程化產品。據了解，項目啟動之初，科研團隊便精準聚焦微型化集成、薄膜磁心制備、MEMS制造工藝優化、性能測試校準等行業核心難點，依托研究所自有磁性微納工藝平臺，整合國內行業優質資源，全力投入技術攻堅。經過數十輪反復試驗與工藝優化，團隊不斷突破現有技術邊界，逐一攻克薄膜磁心微米級定位、高可靠性超高厚度銅柱制備等關鍵技術瓶頸，最終實現了傳感器性能的跨越式提升，達成工程化量產的核心目標。

相較于傳統高精度矢量磁傳感器，這款國產MEMS磁通門傳感器的優勢尤為突出：體積較傳統產品縮小50%以上，成功破解傳統產品體積龐大、功耗偏高、集成度不足的行業痛點，同時具備低噪聲、高可靠性的核心特質，技術指標達到國際先進水平。更為關鍵的是，該產品實現了高性能磁心的批量生產，達成“產學研用”一體化融合落地，可直接匹配各類實際應用場景，具備規模化推廣的基礎條件，這也標志著我國高端磁傳感器國產替代之路邁出了堅實且關鍵的一步。

站在行業發展的角度而言，這一技術突破的價值遠不止單一產品的問世。首先，它首次打破國外企業在高端MEMS磁通門傳感器領域的技術壟斷，將有效降低國內儀器設備企業的采購成本，緩解供應鏈安全風險，為我國高端儀器設備行業擺脫對外技術依賴提供核心支撐；其次，將有效帶動國內磁性材料、MEMS制造、精密加工等上下游產業的協同升級，助力構建從核心材料、關鍵工藝到終端器件、場景應用的完整產業鏈生態，參考蚌埠中國傳感谷的產業集群發展模式，為行業整體高質量發展賦能；此外，還將顯著提升我國在全 球高精度磁傳感領域的話語權，助力我國從磁傳感產業大國向技術強國轉型，精準呼應我國高端制造業自主可控的發展戰略。

作為一款高精度弱磁場傳感器，該產品可精準感應外界微弱的直流及低頻磁場，應用場景廣泛覆蓋弱磁探測、姿態測量與導航、電流檢測等多個領域。隨著該產品的規模化推廣以及核心技術的不斷突破，將進一步推動我國高端磁傳感器核心材料、工藝、器件及應用生態系統的完善，為我國儀器設備行業高質量發展注入持續動力。