KLA 三維光學(xué)輪廓儀Zeta-20
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探針式輪廓儀/臺階儀Tencor P7 /P17
PLS-F1000晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機
晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;
PLS-F1000/F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。
PLS-F1002晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機
晶圓幾何形貌及參數(shù)紅外干涉自動檢測機使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍(lán)寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測量內(nèi)容包括: 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。
QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
專為測量旋轉(zhuǎn)對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設(shè)計,如金剛石車削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡
德國T&S TS-X 輪廓測試儀
Mahr馬爾 光學(xué) 3D 輪廓儀 表面掃描
靈活性和效率 ? 測量系統(tǒng)在實驗室以及生產(chǎn)環(huán)境中均可使用 ? 幾乎可對任何材料進行測量 ? 測量軟件直觀的用戶引導(dǎo)確保了測量過程簡單快速 ? 無需進行耗時的樣品制備(例如,定向、防反射涂層或噴濺涂覆法等) ? 短短幾秒便可完成表面掃描和 2D 輪廓 ? 通過雙向掃描之類的功能可進一步加快原本就很高的測量速度
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