干涉儀

采集方式 相移 波長 3.39um 10.6um 精確度 0.01λ 分辨率 640*512 口徑 75-200mm

FUJINON F601 G102 FI251等富士干涉儀激光管維修和更換 品牌：FUJINON 型號：F601 貨號：ZB2019122300123 裝修及施工內容：安裝工程

Veeco/WYKO HD3300白光干涉儀 微觀形貌分析設備 納米級高分辨率 產品信息 品牌：Veeco/WYKO 型號：HD3300

現場GX球面檢測干涉儀（數字化相移分析系列）是一種高性能模塊化組合檢測干涉儀。它采用國內外SC的組合式激光干涉模塊作為核心部件，主要用于檢測高精度快速球面和曲率半徑球面面形。通過模塊化的設計理念，針對不同的光源、鏡頭口徑、成像方式，不僅在測量過程中拆卸方便，也可適用于多種被測面的測量，大大降低檢測成本。通過慧利儀器專用軟件，可對被測對象實時采樣和分析，并形成2D和3D圖形。 現場GX球面檢測干涉儀（數字化動態分析系列）采用斐索干涉原理，是一款在生產和質量控制中均能提供高精度表面檢測的干涉儀。該產品經過優良的光學系統設計、穩定的動態分析軟件、精密的系統裝備，使其具備良好的抗振性能，適用于光學加工現場、光學車間的大批量檢驗，這使得客戶在提高產品質量的同時，也能節省成本投入。

無應力平面檢測干涉儀（數字化相移分析系列）是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種，它采用國內外SC的組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于GX檢測高精度平面，該產品包括光源、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到國際YL水平，采用更加簡便操作的俯式測量，其擁有極高的JD測量精度PV和JD測量重復性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高，而且具有極高的測量效率。此款干涉儀可廣泛應用高精度光學元件制造、計量檢測、生物醫學、航空航天、國防、微電子、能源等眾多領域，具有廣闊的市場前景。 無應力平面檢測干涉儀（數字化動態分析系列）是一款具有在振動環境下測試能力和共光路特點的斐索型激光干涉儀。該干涉儀經過特殊的光學設計，配備慧利儀器自主開發的H&L Analysis 動態分析軟件，以及傳統激光干涉儀互配的各種附件，這使得該干涉儀在傳統技術無法進行測試的環境中，仍能提供高速穩定的檢測。該產品不僅具有廣闊的市場前景，而且填補了制造業和國家質檢部門對高精度平面檢測設備需求的空白。

1、動鏡、定鏡框采用鋁質黑砂工藝，新型二維調節架調節，調節旋鈕M6X0.5mm銅質螺紋對應銅質座套，舒適靈活，耐磨損，用于演示和觀察干涉現象； 2、精密微調連續可調，動鏡測量范圍0-100mm； 3、微動手輪分度值為0.0001mm； 4、波長測量精度：當條紋計數為100時，測定單色光波長的相5、導軌直線性誤差為±16″； 6、分光板、補償板的平面度為λ/20； 7、移動鏡、參考鏡的平面度為λ/10，采用二維調節鏡架 包括：法布里-珀羅多光束系統

1、動鏡、定鏡框采用鋁質黑砂工藝，新型二維調節架調節，調節旋鈕M6X0.5mm銅質螺紋對應銅質座套，舒適靈活，耐磨損，用于演示和觀察干涉現象； 2、精密微調連續可調，動鏡測量范圍0-100mm； 3、微動手輪分度值為0.0001mm； 4、波長測量精度：當條紋計數為100時，測定單色光波長的相對誤差＜2%； 5、導軌直線性誤差為±16″； 6、分光板、補償板的平面度為λ/20； 7、移動鏡、參考鏡的平面度為λ/10，采用二維調節鏡架。