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儀器網(wǎng)>產(chǎn)品中心>實驗室常用設(shè)備>制樣/消解設(shè)備>離子束刻蝕系統(tǒng) 更新時間:2026-02-03 01:44:54

離子束刻蝕系統(tǒng)

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產(chǎn)品產(chǎn)地:
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廠商性質(zhì):
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綜合
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如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過加速的Ar離子進(jìn)行物理刻蝕則是可能的。通常情況下,樣品表面采用厚膠作為掩模層,刻蝕期間富有能量的離子流會使得基片和光刻膠過熱。除非可以找到有效的方式消除熱量,否則光刻膠將變得非常難以去除。

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應(yīng)用方案

聚焦離子束濺射(FIB) 離子束刻蝕(IBE)技術(shù)研究 聚焦離子束掃描電子顯微鏡(FIB-SEM) KRI 離子源用于離子束拋光機(jī) Syskey 離子束刻蝕機(jī) IBE特點 半導(dǎo)體行業(yè)的溫度控制解決方案 (三):用于等離子體刻蝕系統(tǒng)的精準(zhǔn)溫控的精準(zhǔn)溫控 JIB-4000 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)升級為JIB-400 KRI離子源 RFICP 380 輔助離子束濺射鍍SiO_2 KRi 射頻離子源 IBSD 離子束濺射沉積應(yīng)用 KRi 射頻離子源 IBSD 離子束濺射沉積應(yīng)用

行業(yè)資料

IBE離子束刻蝕機(jī) 使用離子束制備SEM樣品:徠卡EM TIC 3X三離子束研磨儀 GIB 精修離子束系統(tǒng) 聚焦離子束掃描電鏡LYRA3 XMU_XMH-掃描電子顯微鏡產(chǎn)品資料 日立 Ethos NX5000 聚焦離子束顯微鏡 FIB SEM 離子束研磨金屬樣品觀察電子通道襯度圖像 徠卡三離子束切割儀-Leica EM TIC 3X 三離子束切割儀 Leica EM TIC 3X產(chǎn)品樣冊 用Leica EM TIC3X三離子束切割儀解剖太陽能電池 蔡司 FIB LSM 980 with Airyscan 2 激光聚焦離子束顯微鏡

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