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儀器網>產品中心>實驗室常用設備>制樣/消解設備>離子濺射儀 更新時間:2026-02-03 13:46:45

離子濺射儀

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108進口離子濺射儀

108離子濺射儀是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。 描述 108離子濺射儀是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。 主要特性 l 通過GX低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。 l 操作容易快捷,控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制。 l 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度。 l 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和ZJ的鍍膜效果。 可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。

離子濺射儀

整體含濺射主機和真空系統組成,濺射靶頭被設置成為一個二級濺射結構,通過均勻恒定的電場激發并電離氣體分子,形成穩定的輝光放電現象,被電離的離子和電子在這個電場下進行加速,從而使靶原子逃離靶材表面在樣品上面形成納米涂層 配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家: 熱電(美國原荷蘭)FEI鎢絲陰極、場發射、飛納臺式等各類型電子顯微鏡,蔡司(德國)鎢絲陰極、場發射各系列的掃描電子顯微鏡,JEOL(日本電子)各類電鏡,日立(日本)各系列電鏡、臺式電鏡,TESCAN泰斯肯(捷克)各系列電鏡,還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理,提高成像質量、增強導電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。

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行業資料

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離子濺射儀鍍膜原理和結構
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